| 发明名称 |
DIMETHYL GOLD PHOSPHONIUM COMPLEX FOR LASER CVD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06158322(A) |
申请公布日期 |
1994.06.07 |
| 申请号 |
JP19920337780 |
申请日期 |
1992.11.26 |
| 申请人 |
MITSUBISHI MATERIALS CORP |
发明人 |
UCHIDA HIROTO;SAITOU NORIYASU;SATO MASAMITSU;TAKE MASAYUKI;OGI KATSUMI |
| 分类号 |
C23C16/18;C07F9/6596;C23C16/48;H01B1/02;H01B13/00;H01L21/285;(IPC1-7):C23C16/18 |
主分类号 |
C23C16/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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