发明名称 HIGH-MELTING-POINT METALLIC TARGET MATERIAL AND ITS PRODUCTION
摘要
申请公布号 JPH06158300(A) 申请公布日期 1994.06.07
申请号 JP19920310117 申请日期 1992.11.19
申请人 TOKYO TUNGSTEN CO LTD 发明人 UESAWA CHIKAYO;ICHIDA AKIRA
分类号 C23C14/34;C23C16/06;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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