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发明名称 TURBO-MOLECULAR PUMP
摘要
申请公布号 JPH06159287(A) 申请公布日期 1994.06.07
申请号 JP19920320205 申请日期 1992.11.30
申请人 MITSUBISHI HEAVY IND LTD 发明人 KOTOURA SADAYUKI;SEI TAKEZO
分类号 F04D19/04;(IPC1-7):F04D19/04 主分类号 F04D19/04
代理机构 代理人
主权项
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