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发明名称 Objective lens for focusing charged particles.
摘要
申请公布号 EP0333018(B1) 申请公布日期 1994.06.01
申请号 EP19890104133 申请日期 1989.03.08
申请人 ICT INTEGRATED CIRCUIT TESTING GESELLSCHAFT FUER HALBLEITERPRUEFTECHNIK MBH 发明人 FROSIEN, JUERGEN, DR.-ING.
分类号 H01J37/12;G01Q30/02;H01J37/141;H01J37/145;H01J37/244;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/141 主分类号 H01J37/12
代理机构 代理人
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