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发明名称 DESIGN METHOD OF MANUFACTURING PROCESS OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT, DESIGN DEVICE FOR THE MANUFACTURING PROCESS AND CONTROLLER FOR SEMICONDUCTOR INTEGRATED-CIRCUIT MANUFACTURING
摘要
申请公布号 JPH06151814(A) 申请公布日期 1994.05.31
申请号 JP19920252660 申请日期 1992.09.22
申请人 RICOH CO LTD 发明人 AGARI HIDEKI
分类号 H01L29/00;G06F17/50;H01L21/00;H01L21/02;(IPC1-7):H01L29/00;G06F15/60 主分类号 H01L29/00
代理机构 代理人
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