LIQUID MATERIAL VESSEL FOR VAPOR GROWTH,申请号JP19920295577-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	LIQUID MATERIAL VESSEL FOR VAPOR GROWTH
摘要
申请公布号	JPH06151319(A)	申请公布日期	1994.05.31
申请号	JP19920295577	申请日期	1992.11.05
申请人	SUMITOMO ELECTRIC IND LTD	发明人	TANABE TATSUYA
分类号	C30B25/14;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205	主分类号	C30B25/14
代理机构		代理人
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