发明名称 ION SOURCE
摘要
申请公布号 JPH06150861(A) 申请公布日期 1994.05.31
申请号 JP19920295038 申请日期 1992.11.04
申请人 NISSIN ELECTRIC CO LTD 发明人 NAITO KATSUO
分类号 H01J27/18;H01J37/04;H01J37/08;H01J37/317;(IPC1-7):H01J37/08 主分类号 H01J27/18
代理机构 代理人
主权项
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