METHOD AND DEVICE FOR PROCESSING SEMICONDUCTOR DEVICE,申请号JP19920302230-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	METHOD AND DEVICE FOR PROCESSING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号	JPH06151672(A)	申请公布日期	1994.05.31
申请号	JP19920302230	申请日期	1992.11.12
申请人	HITACHI CONSTR MACH CO LTD	发明人	TADA NOBUHIKO;MITSUYANAGI NAOKI;SHIMOMURA YOSHIAKI;SAKURAI SHIGEYUKI;NAGANO YOSHIYA
分类号	B21F1/00;H01L23/50;(IPC1-7):H01L23/50	主分类号	B21F1/00
代理机构		代理人
主权项
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