发明名称 SURFACE INSPECTION EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH06147869(A) 申请公布日期 1994.05.27
申请号 JP19920302224 申请日期 1992.11.12
申请人 RICOH CO LTD 发明人 SAKIDA RYUJI;SAKAKI TAIZO
分类号 G01B11/30;G01N21/88;G01N21/952;(IPC1-7):G01B11/30 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
主权项
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