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发明名称 Verfahren zur Dotierstoffkonzentrationsbestimmung mittels Ätzratenbestimmung in Borphosphorsilikatglasschichten für integrierte Halbleiter
摘要
申请公布号 DE4123228(C2) 申请公布日期 1994.05.26
申请号 DE19914123228 申请日期 1991.07.12
申请人 SIEMENS AG, 80333 MUENCHEN 发明人 PROKSCHE, HARALD, DIPL.-CHEM., 8900 AUGSBURG;ROS, DETLEF, DR.RER.NAT., 8011 KIRCHHEIM
分类号 H01L21/311;(IPC1-7):H01L21/66;C03C3/089;C03C15/00;G01N33/38;H01L21/306 主分类号 H01L21/311
代理机构 代理人
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