| 发明名称 |
METHOD FOR DEPOSITION OF METAL LAYER |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH06140359(A) |
申请公布日期 |
1994.05.20 |
| 申请号 |
JP19920102200 |
申请日期 |
1992.03.26 |
| 申请人 |
INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM> |
发明人 |
JIEEMUSU GAADONAA RIYAN;DEBITSUTO KUREIGU SUTORITSUPU;BAANDO MITSUSHIERU BORUMAA |
| 分类号 |
H01L21/285;C23C14/04;H01J37/32;H01J37/34;H01L21/768;H05K3/40;(IPC1-7):H01L21/285;H01L21/90 |
主分类号 |
H01L21/285 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
