| 发明名称 |
EQUIPMENT FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06140390(A) |
申请公布日期 |
1994.05.20 |
| 申请号 |
JP19930066794 |
申请日期 |
1993.03.25 |
| 申请人 |
KAWASAKI STEEL CORP |
发明人 |
YAMAMOTO HIROSHI;SATO NOBUYOSHI;OOTA TOMOHIRO;NAKANO TADASHI |
| 分类号 |
C23C16/44;H01L21/31;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/316 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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