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发明名称 SURFACE TREATMENT OF COMPOUND SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH06140375(A) 申请公布日期 1994.05.20
申请号 JP19920308102 申请日期 1992.10.22
申请人 NEC CORP 发明人 FURUHATA NAOKI
分类号 H01L21/203;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
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