发明名称 |
Mikrosystem zur Lichtstrahlführung |
摘要 |
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申请公布号 |
DE9320347(U1) |
申请公布日期 |
1994.05.19 |
申请号 |
DE19930020347U |
申请日期 |
1993.06.01 |
申请人 |
KERNFORSCHUNGSZENTRUM KARLSRUHE GMBH, 76133 KARLSRUHE |
发明人 |
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分类号 |
G01L7/08;G01L9/00;G01P15/093;G02B6/35;H03K17/968;(IPC1-7):G02B26/02;G01D5/26;G01P15/02 |
主分类号 |
G01L7/08 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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