发明名称 Mikrosystem zur Lichtstrahlführung
摘要
申请公布号 DE9320347(U1) 申请公布日期 1994.05.19
申请号 DE19930020347U 申请日期 1993.06.01
申请人 KERNFORSCHUNGSZENTRUM KARLSRUHE GMBH, 76133 KARLSRUHE 发明人
分类号 G01L7/08;G01L9/00;G01P15/093;G02B6/35;H03K17/968;(IPC1-7):G02B26/02;G01D5/26;G01P15/02 主分类号 G01L7/08
代理机构 代理人
主权项
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