发明名称 DROUBLE-LAYERED CERAMIC CRUCIBLE
摘要
申请公布号 JPH06135794(A) 申请公布日期 1994.05.17
申请号 JP19920312901 申请日期 1992.10.28
申请人 SHIN ETSU CHEM CO LTD 发明人 KAWADA ATSUO;HAGIWARA KOJI
分类号 C30B23/08;F27B14/10;H01L21/203;(IPC1-7):C30B23/08 主分类号 C30B23/08
代理机构 代理人
主权项
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