| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR ELEMENT AND FABRICATION THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06132490(A) |
申请公布日期 |
1994.05.13 |
| 申请号 |
JP19920281365 |
申请日期 |
1992.10.20 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI TOBU SEMICONDUCTOR LTD |
发明人 |
YASUDA TAKESHI;KITAHARA TOSHIAKI |
| 分类号 |
H01L27/06;H01L21/8232;H01L27/095;(IPC1-7):H01L27/095 |
主分类号 |
H01L27/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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