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发明名称 LAYOUT VERIFYING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06131417(A) 申请公布日期 1994.05.13
申请号 JP19920304512 申请日期 1992.10.19
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 MIYOSHI YOSHIHIRO
分类号 H01L27/082;G06F17/50;H01L21/8226;(IPC1-7):G06F15/60 主分类号 H01L27/082
代理机构 代理人
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