发明名称 |
IMPROVED ION IMPLANTATION |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH06132005(A) |
申请公布日期 |
1994.05.13 |
申请号 |
JP19910331024 |
申请日期 |
1991.12.16 |
申请人 |
APPLIED MATERIALS INC |
发明人 |
NIKORASU BURAITO;DEIBUITSUDO RICHIYAADO BAAJIN;TEIMOSHII GUREI MOOGAN;KUREIGU JIYON ROORII;HIROYUKI ITOU |
分类号 |
C23C14/48;H01J37/05;H01J37/09;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/317 |
主分类号 |
C23C14/48 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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