向炉室做无动密封传动的晶体生长炉部件

摘要

本实用新型涉及一种向炉室做无动密封传动的晶体生长炉部件，用介于外部及密封空间(晶体生长设备的炉室)的谐波减速器的杯形柔轮或波纹管隔离，外部动力驱使柔轮或波纹管变形，把动力传入密封空间，实现对籽晶轴或坩锅轴的无动密封传动。这种晶体生长炉密封空间不存在传动密封泄漏，由动密封引起运动不平稳及卡滞现象，运行可靠，成晶率高，质量好。

主权项

1、一种向炉室做无动密封传动的晶体生长炉部件，其特征在于：在外部空间与密封空间之间，用谐波减速器的杯形柔轮或波纹管隔离，通过杯形柔轮或波纹管的变形将动力传到密封空间内，实现无动密封传动。