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发明名称
摘要
申请公布号 JPH0636200(U) 申请公布日期 1994.05.13
申请号 JP19920073114U 申请日期 1992.10.20
申请人 发明人
分类号 H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/317 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
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