发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06124975(A) 申请公布日期 1994.05.06
申请号 JP19920273297 申请日期 1992.10.13
申请人 FUJITSU LTD;KYUSHU FUJITSU ELECTRON:KK 发明人 YOSHITOSHI KATSUSHI;RIMU TEIMU RAI;SERIZAWA KOJI
分类号 H01L21/60;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
地址