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发明名称
FORMING METHOD OF ELECTRODE AND PAD AND PHOTOMASK SET USING FOR THE SAME
摘要
申请公布号
JPH06124964(A)
申请公布日期
1994.05.06
申请号
JP19920274181
申请日期
1992.10.13
申请人
OKI ELECTRIC IND CO LTD
发明人
SAITO TADASHI
分类号
H01L21/28;H01L21/338;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/338
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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