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发明名称 Epitaktische Abscheidung durch MOCVD bei niedrigem Druck.
摘要
申请公布号 DE69005323(T2) 申请公布日期 1994.04.28
申请号 DE1990605323T 申请日期 1990.01.29
申请人 MOTOROLA, INC., SCHAUMBURG, ILL., US 发明人 JOHNSON, ERIC S., SCOTTSDALE, ARIZONA 85253, US
分类号 C30B25/02;C30B25/18;C30B29/40;C30B29/48;H01L21/205;H01S5/32;(IPC1-7):C30B25/02 主分类号 C30B25/02
代理机构 代理人
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