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发明名称 Vorrichtung zur Herstellung von Dünnschichten
摘要
申请公布号 DE3527259(C2) 申请公布日期 1994.04.28
申请号 DE19853527259 申请日期 1985.07.30
申请人 FUJI PHOTO FILM CO., LTD., MINAMI-ASHIGARA, KANAGAWA, JP 发明人 YANAI, AKIO, ODAWARA, KAWAGAWA, JP;SHIRAHATA, RYUJI, ODAWARA, KAWAGAWA, JP
分类号 G11B5/85;C23C14/00;C23C14/56;H01F41/20;(IPC1-7):C23C14/24 主分类号 G11B5/85
代理机构 代理人
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