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发明名称
ULTRAVIOLET SENSITIVE RESIST FILM AND PATTERN FORMING METHOD
摘要
申请公布号
JPH06118632(A)
申请公布日期
1994.04.28
申请号
JP19920287146
申请日期
1992.10.02
申请人
KANSAI PAINT CO LTD
发明人
IWAZAWA NAOZUMI
分类号
G03F7/004;G03F7/11;H05K3/06;(IPC1-7):G03F7/004
主分类号
G03F7/004
代理机构
代理人
主权项
地址
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