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发明名称
摘要
申请公布号 JPH0631192(B2) 申请公布日期 1994.04.27
申请号 JP19850297904 申请日期 1985.12.28
申请人 SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES 发明人 MYAZAKI TAKESHI
分类号 C30B11/06;H01L21/18;H01L21/208;(IPC1-7):C30B11/06 主分类号 C30B11/06
代理机构 代理人
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