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发明名称 PRODUCTION OF THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH06116305(A) 申请公布日期 1994.04.26
申请号 JP19920268896 申请日期 1992.10.07
申请人 TORAY IND INC 发明人 IMAZU EMI;TSUKAMOTO JUN
分类号 B01J19/00;C08F2/00;C08F38/00;C23C14/12;G03F7/025;H01L21/312;(IPC1-7):C08F2/00 主分类号 B01J19/00
代理机构 代理人
主权项
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