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发明名称 ION BEAM ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPH06116709(A) 申请公布日期 1994.04.26
申请号 JP19920285464 申请日期 1992.09.30
申请人 CANON INC;UNIV OSAKA;RES DEV CORP OF JAPAN 发明人 ISHIKURA ATSUMICHI;OTANI MINORU;FUJIMURA HIDEHIKO;SAWAMURA MITSUHARU;YOSHIDA KUNIO
分类号 C23C14/02;H01L21/302;(IPC1-7):C23C14/02 主分类号 C23C14/02
代理机构 代理人
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