发明名称 |
PRODUCTION OF THIN FILMLIKE DIAMOND |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH06116088(A) |
申请公布日期 |
1994.04.26 |
申请号 |
JP19920263459 |
申请日期 |
1992.10.01 |
申请人 |
SHARP CORP |
发明人 |
UENISHI SHIGERU;TANAKA JUNICHI;MATSUNAGA HIRONORI;KOBA MASAYOSHI |
分类号 |
C30B29/04;(IPC1-7):C30B29/04 |
主分类号 |
C30B29/04 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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