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发明名称 PLASMA APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH06112168(A) 申请公布日期 1994.04.22
申请号 JP19920260288 申请日期 1992.09.29
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 KAWAKAMI SATOSHI;ARAMI JIYUNICHI
分类号 C23F4/00;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;H05H1/46;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
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