发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH06112406(A) 申请公布日期 1994.04.22
申请号 JP19920260941 申请日期 1992.09.30
申请人 TOSHIBA CORP;TOSHIBA MICRO ELECTRON KK 发明人 HANADA TOMOKO;NAGASAWA HIRONORI
分类号 H01L21/3205;H01L21/822;H01L23/52;H01L27/04;(IPC1-7):H01L27/04;H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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