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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06112309(A) 申请公布日期 1994.04.22
申请号 JP19920257942 申请日期 1992.09.28
申请人 FUJITSU LTD 发明人 URAYAMA TAKEHIRO
分类号 H01L21/76;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/76;H01L29/784 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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