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发明名称 CLEANING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH06112184(A) 申请公布日期 1994.04.22
申请号 JP19920260105 申请日期 1992.09.29
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 SASAI HIROSHI;OMORI MASASHI;FUJINO NAOHIKO
分类号 B08B3/12;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 B08B3/12
代理机构 代理人
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