发明名称 PROBER
摘要
申请公布号 JPH06112285(A) 申请公布日期 1994.04.22
申请号 JP19920258511 申请日期 1992.09.28
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 MORI SHIGEOKI
分类号 G01R31/02;G01R31/26;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01R31/02
代理机构 代理人
主权项
地址