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发明名称 Waschverfahren für Superpräzisionsanlagen.
摘要
申请公布号 DE3884165(T2) 申请公布日期 1994.04.21
申请号 DE19883884165T 申请日期 1988.12.12
申请人 NIKKO BIO TECHNICA CO., LTD., SHIZUOKA, JP 发明人 IMANAKA, TADAYUKI, SUITA-SHI OSAKA 565, JP;SAKURAI, SHOJI, SHIZUOKA-SHI SHIZUOKA 421-12, JP
分类号 B08B3/08;C11D3/386;C11D11/00;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):C11D3/386;H01L21/00 主分类号 B08B3/08
代理机构 代理人
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