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发明名称 Prüfungssystem für eine Mikrokreisanordnung mit Redundanzkreisanlagen.
摘要
申请公布号 DE3888395(D1) 申请公布日期 1994.04.21
申请号 DE19883888395 申请日期 1988.05.24
申请人 OPTICAL SPECIALITIES, INC., FREMONT, CALIF., US 发明人 LIN, LAWRENCE H., ALAMO CALIFORNIA 94507, US;HOWE, ROBERT B., SAN JOSE CALIFORNIA 95133, US;CAVAN, DANIEL L., WOODSIDEM CALIFORNIA 94062, US
分类号 G01B11/24;G01N21/88;G01N21/956;H01L21/66;(IPC1-7):G01N21/88 主分类号 G01B11/24
代理机构 代理人
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