| 发明名称 |
SELECTIVE LOW-TEMPERATURE CHEMICAL VAPOR DEPOSITION OF GOLD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06108252(A) |
申请公布日期 |
1994.04.19 |
| 申请号 |
JP19930159870 |
申请日期 |
1993.06.30 |
| 申请人 |
INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM> |
发明人 |
MAAKU MONROO BANAASAKUUHOORU;SUTEIIBUN POORU KOBUARUTSUIKU;FUENTON RIIDO MAKUFUIIRII;POORU FUREDORITSUKU SAIDORAA |
| 分类号 |
C23C16/02;C23C16/04;C23C16/06;C23C16/18;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/3205;(IPC1-7):C23C16/04 |
主分类号 |
C23C16/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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