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发明名称 PATTERN FORMATION
摘要
申请公布号 JPH06104256(A) 申请公布日期 1994.04.15
申请号 JP19920249547 申请日期 1992.09.18
申请人 HITACHI LTD 发明人 NAKAHARA TETSUJI
分类号 H01L21/027;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
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