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发明名称 PLASMA PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH06104184(A) 申请公布日期 1994.04.15
申请号 JP19920250254 申请日期 1992.09.18
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SANPEI MINORU;WATANABE HITOSHI
分类号 H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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