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发明名称 INSPECTION METHOD FOR VIAHOLE
摘要
申请公布号 JPH06102191(A) 申请公布日期 1994.04.15
申请号 JP19920250224 申请日期 1992.09.18
申请人 FUJITSU LTD 发明人 OKA KOJI;ANDO MORITOSHI
分类号 G01N21/88;G01N21/93;G01N21/956;H01L21/66;(IPC1-7):G01N21/88 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
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