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发明名称
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申请公布号 JPH0628252(B2) 申请公布日期 1994.04.13
申请号 JP19870071530 申请日期 1987.03.27
申请人 HITACHI SEISAKUSHO KK;HITACHI TEKUNO ENJINIARINGU KK 发明人 TADA KEIJI;MOROI TATSUO;NISHIHATA KOJI;IKUHARA SHOJI;OKIGUCHI MASASHI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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