| 发明名称 |
A chamber for the transport of workpieces in a vacuum atmosphere, a chamber combination and a method for transporting a workpiece |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
GB2271332(A) |
申请公布日期 |
1994.04.13 |
| 申请号 |
GB19930020452 |
申请日期 |
1993.10.05 |
| 申请人 |
* BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
ROMAN * SCHERTLER |
| 分类号 |
B23P19/00;C23C14/56;G11B5/84;G11B7/26;G11B11/10;G11B11/105;G11B25/04;H01L21/677;(IPC1-7):B65G29/00 |
主分类号 |
B23P19/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
