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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0697082(A) 申请公布日期 1994.04.08
申请号 JP19920242440 申请日期 1992.09.11
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 ISHIWATARI OSAMU
分类号 H01L21/205;H01L21/20;H01L21/265;H01L21/3205;H01L23/52;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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