发明名称 WINDOW STRUCTURE AND ITS ASSEMBLY METHOD
摘要
申请公布号 JPH0696895(A) 申请公布日期 1994.04.08
申请号 JP19930068904 申请日期 1993.03.26
申请人 LEYBOLD AG 发明人 RUDORUFU RATSUTSU;YOTSUHEN RITSUTAA
分类号 H01L21/205;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065;H01P1/08;H01Q13/02;H05H1/46;(IPC1-7):H05H1/46 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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