发明名称 DRY ETCHING METHOD FOR THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH0695135(A) 申请公布日期 1994.04.08
申请号 JP19920248180 申请日期 1992.09.17
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 OIKE KAZUO
分类号 G02F1/1343;G02F1/136;G02F1/1368;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):G02F1/134;H01L29/784 主分类号 G02F1/1343
代理机构 代理人
主权项
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