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经营范围
发明名称
DRY ETCHING METHOD FOR THIN FILM
摘要
申请公布号
JPH0695135(A)
申请公布日期
1994.04.08
申请号
JP19920248180
申请日期
1992.09.17
申请人
SEIKO EPSON CORP
发明人
OIKE KAZUO
分类号
G02F1/1343;G02F1/136;G02F1/1368;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):G02F1/134;H01L29/784
主分类号
G02F1/1343
代理机构
代理人
主权项
地址
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