发明名称 Plurality of thin film field-effect transistors and method of manufacturing the same.
摘要
申请公布号 EP0354372(B1) 申请公布日期 1994.04.06
申请号 EP19890112789 申请日期 1989.07.12
申请人 AGENCY OF INDUSTRIAL SCIENCE AND TECHNOLOGY 发明人 HAYASHI, YUTAKA ELECTROTECH. LAB. AGENCY OF;YAMANAKA, MITSUYUKI ELECTROTECH. LAB. AGENCY OF;YOSHIMI, TAKASHI
分类号 H01L27/088;H01L21/336;H01L21/337;H01L21/338;H01L21/8234;H01L21/84;H01L29/43;H01L29/78;H01L29/786;H01L29/808;H01L29/812;(IPC1-7):H01L27/12;H01L29/784 主分类号 H01L27/088
代理机构 代理人
主权项
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