| 发明名称 |
DEVICE FOR HOUSING FILTER FOR CHEMICAL COPPER PLATING SOLUTION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0691112(A) |
申请公布日期 |
1994.04.05 |
| 申请号 |
JP19920271041 |
申请日期 |
1992.09.14 |
| 申请人 |
JAPAN ENERGY CORP;HITACHI LTD |
发明人 |
KIKUCHI TETSUO;KAWAKUBO SHOJI;TOBA RITSUJI |
| 分类号 |
B01D27/08;B01D29/50;(IPC1-7):B01D29/50 |
主分类号 |
B01D27/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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