| 发明名称 |
SPUTTERING TARGET, MANUFACTURE THEREFOR AND TEMPERATURE SENSOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0693434(A) |
申请公布日期 |
1994.04.05 |
| 申请号 |
JP19910047042 |
申请日期 |
1991.03.12 |
| 申请人 |
MITSUBISHI MATERIALS CORP |
发明人 |
KINOSHITA MAKOTO;MORIKAWA MASAKI |
| 分类号 |
C23C14/34;G01K7/18;(IPC1-7):C23C14/34 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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