MICROPROBE FOR SURFACE-SCANNING MICROSCOPES.

摘要

L'invention concerne une microsonde destinée à un microscope à balayage de surface et opposant une résistance identique aux effort de fléxion dans deux directions différentes, à savoir la direction allant vers la surface de balayage et s'éloignant de celle-ci et une direction dans un plan parallèle à ladite surface. A cet effet, on a donné à la sonde, qui se compose d'un corps de support, d'un bras ou élément en porte-à-faux élastique pourvu d'une extrémité soutenue par le corps de support et d'une autre extrémité soutenue par le corps de support et d'une autre extrémité, libre, portant un bout pointu ou stylet, un bras ou élément en porte-à-faux à sinuosités. L'invention concerne en outre un procédé pour fabriquer ce type de sonde dont le corps de support et le bout pointu ou stylet ne forment qu'une seule pièce, à partir d'une tranche de matière cristalline par attaque chimique.