高分辨率X射线像增强器视觉系统

摘要

高分辨率X射线像增强器视觉系统，由可旋转的X射线发射接收部件和三维移动的载物台组件组成。可旋转的X射线发射接收部件由X射线像增强器、X射线旋转臂、X射线源组成，载物台可做X－Y－Z三维运动。通过X射线源发射的X射线透过BGA成像在X射线像增强器上，用CCD将图象转换成视频信号用显示器观察BGA的焊点情况，通过X方向驱动电机和Y方向驱动电机驱动载物台做X－Y运动，可看到BGA的其他焊点，通过Z方向驱动电机驱动载物台做Z方向运动，可调整BGA焊点放大率及图象视场，通过旋转臂驱动电机驱动X射线旋转臂旋转，可观察BGA焊点的不同角度，从而实现了对BGA器件的焊点质量进行定性、定量检测。

主权项

1.高分辨率X射线像增强器视觉系统，包括支架(19)以及设置在支架(19)内的可旋转的X射线发射接收部件和三维移动的载物台，其特征在于：所说的可旋转的X射线发射接收部件包括通过旋转臂转轴(3)与支架(19)相连接的X射线旋转臂(2)，在支架(19)上还设置有驱动X射线旋转臂(2)转动的旋转臂驱动电机(5)，在X射线旋转臂(2)的上端和下端分别固定有X射线像增强器(1)和X射线源(4)；所说的三维移动的载物台包括设置在支架(19)上的X方向运动基座(18)，X方向运动基座(18)上设置有X方向驱动电机(6)、X方向丝杠(7)和X方向直线滑轨(12)，在X方向直线滑轨(12)上固定有Z方向运动基座(17)，该X方向驱动电机(6)通过X方向丝杠(7)驱动Z方向运动基座(17)沿X方向直线滑轨(12)运动，在Z方向运动基座(17)上固定有Z方向驱动电机(13)、Z方向驱动丝杠(14)和Z方向滑动光杠(15)，在Z方向滑动光杠(15)上固定有Y方向运动基座(16)，由Z方向驱动电机(13)通过Z方向驱动丝杠(14)驱动Y方向运动基座(16)沿Z方向滑动光杠(15)移动，Y方向运动基座(16)上设置有Y方向直线滑轨(11)、Y方向驱动电机(10)和Y方向驱动丝杠(9)，且在Y方向直线滑轨(11)上固定有载物台(8)，由Y方向驱动电机(10)通过Y方向驱动丝杠(9)驱动载物台(8)沿Y方向直线滑轨(11)移动。